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压电薄膜谐振器和滤波器及其制造方法

发明专利有效专利

申请号：
CN200510076089.0
IPC分类号：H03H9/17;H03H9/54;H03H3/02
申请日期：
2005-05-31
申请人：
富士通媒体部品株式会社;富士通株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	压电薄膜谐振器和滤波器及其制造方法
申请号	CN200510076089.0	申请日期	2005-05-31
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2006-01-04	公开/公告号	CN1716768
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H03H9/17 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H03 基本电子电路 H03H 阻抗网络，例如谐振电路；谐振器（测量，试验入G01R；产生混响或回声装置入G10K 15/08；由分布阻抗，例如波导型，组成的阻抗网络或谐振器入H01P；放大的控制，例如放大器的带宽控制入H03G；调谐谐振电路，例如调谐耦合谐振电路入H03J；改善通信系统频率特性的网络入H04B） H03H9/00 包括机电或电声器件的网络；机电谐振器（制造压电或磁致伸缩元件入H01L 41/00；扬声器，话筒，唱机拾音器或类似物入H04R） H03H9/15 由压电或电致伸缩材料构成的谐振器的结构特点（H03H 9/25优先）〔3〕 H03H9/17 具有单个谐振器（晶体调谐音叉入H03H 9/21）〔3〕	IPC分类号	H;0;3;H;9;/;1;7;;;H;0;3;H;9;/;5;4;;;H;0;3;H;3;/;0;2查看分类表>
申请人	富士通媒体部品株式会社;富士通株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	太阳诱电株式会社	当前权利人	太阳诱电株式会社
发明人	谷口真司;西原时弘;坂下武;横山刚;岩城匡郁;上田政则;宫下勉
代理机构	北京三友知识产权代理有限公司	代理人	李辉

摘要

压电薄膜谐振器和滤波器及其制造方法。一种压电薄膜谐振器，其包括：具有平面的器件基板；以及层状体，设置在所述器件基板上，并由下电极、上电极，以及夹在该上电极和下电极之间的压电膜构成。该层状体具有膜部分，其中所述上电极通过所述压电膜与所述下电极彼此重叠，在所述器件基板和所述下电极之间形成向上拱起的穹顶形的间隙，并且该间隙位于该膜部分的下方。

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