硅片清洗制绒槽

发明专利无效专利

申请号：
CN201010186514.2
IPC分类号：C30B33/10
申请日期：
2010-05-31
申请人：
常州亿晶光电科技有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	硅片清洗制绒槽
申请号	CN201010186514.2	申请日期	2010-05-31
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2010-09-15	公开/公告号	CN101831713A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B33/10 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B33/00 单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的后处理（C30B 31/00优先）〔3，5〕 C30B33/08 侵蚀〔5〕 C30B33/10 在溶液或熔体内〔5〕	IPC分类号	C;3;0;B;3;3;/;1;0查看分类表>
申请人	常州亿晶光电科技有限公司	申请人地址	江苏省金坛市尧塘镇金武路18号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	常州亿晶光电科技有限公司	当前权利人	常州亿晶光电科技有限公司
发明人	王瑞勋
代理机构	常州市维益专利事务所	代理人	周祥生

摘要

一种硅片清洗制绒槽，它包括槽体和加热管，在槽体的槽底设有加热管支撑架，加热管限位槽到槽底的距离为液面高度的1/5～1/4。由于在硅片清洗制绒槽内增设了加热管支撑架，加热管由加热管支撑架上的加热管限位槽限位，加热管支撑架将加热管与清洗制绒槽的槽壁和槽底隔开，避免了加热管与清洗制绒槽的槽壁和槽底直接接触，确保清洗制绒槽不被高温烧损。加热时，加热管上的温度能够均匀地向槽内溶液的四周扩散，保证了槽内溶液温度的均匀性，同时也保证了生产的安全。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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