一种新型多功能传感器芯片及其制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201710254835.3
IPC分类号：G01K7/16;G01R27/02
申请日期：
2017-04-18
申请人：
上海交通大学

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著录项信息

专利名称	一种新型多功能传感器芯片及其制备方法
申请号	CN201710254835.3	申请日期	2017-04-18
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2017-07-18	公开/公告号	CN106959169A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01K7/16 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01K 温度测量；热量测量；未列入其他类目的热敏元件（辐射高温测定法入G01J 5/00） G01K7/00 以利用直接对热敏感的电或磁性元件为基础的温度测量（给出除温度瞬时值之外其他结果的入G01K 3/00） G01K7/16 利用电阻元件	IPC分类号	G;0;1;K;7;/;1;6;;;G;0;1;R;2;7;/;0;2查看分类表>
申请人	上海交通大学	申请人地址	上海市闵行区东川路800号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海交通大学	当前权利人	上海交通大学
发明人	张丛春;林兴楷;杨伸勇;丁桂甫;汪红
代理机构	上海恒慧知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	徐红银

摘要

本发明提供一种新型多功能传感器芯片及其制备方法，包括硅基衬底，以及设于硅基衬底上的氧化硅绝缘层、温度传感器、C4D电导率传感器、BST薄膜保护层，其中：氧化硅绝缘层覆盖在硅基衬底上方，C4D电导率传感器的四个敏感电极被氧化硅绝缘层包围，温度传感器置于氧化硅绝缘层上方，BST薄膜保护层覆盖在温度传感器、C4D电导率传感器上表面并露出引线电极；当所述芯片置于被测溶液中时，由C4D测量原理，C4D电导率传感器输出被测溶液的阻抗图，将其与标准的阻抗谱比对后即得到相应电导率值；同时，温度传感器输出相应温度。本发明同时实现温度与电导率测量，具有结构简单、体积小、成本低、耐腐蚀、响应速度快、测量范围大、测量精度高的特点。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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