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一种真空感应化学气相沉积炉

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110372054.0
  • IPC分类号:C23C16/54;C23C16/52;C23C16/44;C23C16/455
  • 申请日期:
    2021-04-07
  • 申请人:
    锦州同创真空冶金科技有限公司
著录项信息
专利名称一种真空感应化学气相沉积炉
申请号CN202110372054.0申请日期2021-04-07
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-07-13公开/公告号CN113106428A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/54IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;5;4;;;C;2;3;C;1;6;/;5;2;;;C;2;3;C;1;6;/;4;4;;;C;2;3;C;1;6;/;4;5;5查看分类表>
申请人锦州同创真空冶金科技有限公司申请人地址
辽宁省锦州市太和区大薛乡石鸡村 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人锦州同创真空冶金科技有限公司当前权利人锦州同创真空冶金科技有限公司
发明人于方;张建宏;周国达;王姗姗;郭秋艳;孟爽;刘铎;曹月
代理机构北京高沃律师事务所代理人王富强
摘要
本发明公开了一种真空感应化学气相沉积炉,涉及化工设备技术领域,包括炉体、真空系统和充气系统,所述炉体内设置有加热室,所述加热室外侧设置有感应加热装置,所述加热室内设置有沉积室,所述沉积室与所述充气系统连通,所述加热室与所述炉体之间为真空室,所述加热室和所述真空室分别通过管路与所述真空系统连通。本发明将真空室和沉积室设置成两个相互独立的结构,真空室和沉积室不相通,沉积气体仅通入沉积室,不仅减少了沉积气体的浪费,还便于控制沉积室内沉积气体的压力和密度;真空系统分别对真空室和沉积室进行抽真空,沉积室内排出的污染性废气可以直接排出炉体之外,避免了对真空室的污染和损坏。

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