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一种移动式空气化学过滤装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201210401269.1
  • IPC分类号:B01D53/74
  • 申请日期:
    2012-10-19
  • 申请人:
    和舰科技(苏州)有限公司
著录项信息
专利名称一种移动式空气化学过滤装置
申请号CN201210401269.1申请日期2012-10-19
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2014-05-07公开/公告号CN103768905A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B01D53/74IPC分类号B;0;1;D;5;3;/;7;4查看分类表>
申请人和舰科技(苏州)有限公司申请人地址
江苏省苏州市苏州工业园区星华街333号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人和舰科技(苏州)有限公司当前权利人和舰科技(苏州)有限公司
发明人程一刚;孙中官;钱勇
代理机构北京连和连知识产权代理有限公司代理人贺小明
摘要
本发明提出一种移动式空气化学过滤装置,其特征在于,包括移动平台、化学过滤器、风机和电源,其中,所述风机设置在所述移动平台上放置电子元器件部位的上方;所述化学过滤器设置在所述风机上方;空气经过所述化学过滤器净化后由风机向下吹送,为放置于移动平台上的电子元器件提供净化后的空气;所述电源为风机供电。本发明通过改进化学过滤器的布置,对特定产品进行有效防护,以保证电子元器件,如晶圆、光罩等,在传送过程中能得到全面的防护。

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