对准检测装置及对准偏移量的检测方法

发明专利有效专利

申请号：
CN200610068206.3
IPC分类号：G01B11/02;G09G3/00;G01M11/00
申请日期：
2006-03-20
申请人：
友达光电股份有限公司

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著录项信息

专利名称	对准检测装置及对准偏移量的检测方法
申请号	CN200610068206.3	申请日期	2006-03-20
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2006-10-11	公开/公告号	CN1844845
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 11/08优先）	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;2;;;G;0;9;G;3;/;0;0;;;G;0;1;M;1;1;/;0;0查看分类表>
申请人	友达光电股份有限公司	申请人地址	台湾省新竹市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	友达光电股份有限公司	当前权利人	友达光电股份有限公司
发明人	钟博钦;钟万河;陈建仲
代理机构	北京市柳沈律师事务所	代理人	陶凤波;侯宇

摘要

本发明提供了一种对准检测装置，其包含基板上的对准图案，以及已知宽度的边框设于该对准图案外围。本发明的对准检测装置可用在COG(Chip-On-Glass)工艺中，配合芯片的对准标记，在COG压合工艺后，通过对准标记与边框的相互位置来直接进行判断偏移量，使本发明可以达到在COG工艺后可直接估算芯片压合后的偏移量去调校机台的最终目的。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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