一种高吸留极限的低温泵

发明专利有效专利

申请号：
CN201710884204.X
IPC分类号：F04B37/08;F04B39/00;F04B39/06
申请日期：
2017-09-26
申请人：
安徽万瑞冷电科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种高吸留极限的低温泵
申请号	CN201710884204.X	申请日期	2017-09-26
法律状态	实质审查	申报国家	暂无
公开/公告日	2018-01-19	公开/公告号	CN107605700A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F04B37/08 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F0 发动机或泵 F04 液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵 F04B 液体变容式机械；泵（发动机燃料喷射泵入F02M；旋转活塞式或摆动活塞式液体机械或泵入F04C；非变容式泵入F04D；通过其他流体直接接触或利用被泵送流体的惯性的流体泵送入F04F；曲轴、十字头、连杆入F16C；飞轮入F16F；旋转运动和往复运动互相转换的一般传动装置入F16H；通用活塞、活塞杆、工作缸入F16J；离子泵入H01J 41/12；电动泵入H02K 44/02） F04B37/00 专门适用于弹性流体的并且其相关特征不包含在F04B 25/00至F04B 35/00组中或与上述各组无关的泵 F04B37/06 用热力法抽出 F04B37/08 用冷凝或冷冻，如低温泵（冷阱入B01D 8/00）	IPC分类号	F;0;4;B;3;7;/;0;8;;;F;0;4;B;3;9;/;0;0;;;F;0;4;B;3;9;/;0;6查看分类表>
申请人	安徽万瑞冷电科技有限公司	申请人地址	安徽省合肥市高新区海棠路189号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	安徽万瑞冷电科技有限公司	当前权利人	安徽万瑞冷电科技有限公司
发明人	武义锋;邓家良;冯苌春;曾环;王少恒;张海峰;俞杰;孙志和
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明公开了一种高吸留极限的低温泵，安装于真空腔室中，其包括壳体、低温冷源、位于壳体内的辐射冷屏和被辐射冷屏包围的低温板组件，所述低温冷源包括制冷机冷头，所述制冷机冷头包括同轴配置的二级冷却台和一级冷却台，所述辐射冷屏与一级冷却台热连接，所述低温板组件与二级冷却台热连接，所述壳体上设有进气口，其进气方向与制冷机冷头的轴向正交，所述低温板组件活动安装于二级冷却台上并可绕所述二级冷却台旋转。本发明提供的低温泵的低温板组件通过其旋转运动均可较为接近吸气口，实现对吸气口气体的良好冷凝和吸附。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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