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一种过渡金属硫化物大面积连续薄膜覆盖率的检测方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202010783266.3
  • IPC分类号:G01N21/65;G01N21/84
  • 申请日期:
    2020-08-06
  • 申请人:
    中国电子科技集团公司第四十六研究所
著录项信息
专利名称一种过渡金属硫化物大面积连续薄膜覆盖率的检测方法
申请号CN202010783266.3申请日期2020-08-06
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2020-11-06公开/公告号CN111896521A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01N21/65IPC分类号G;0;1;N;2;1;/;6;5;;;G;0;1;N;2;1;/;8;4查看分类表>
申请人中国电子科技集团公司第四十六研究所申请人地址
天津市河西区洞庭路26号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国电子科技集团公司第四十六研究所当前权利人中国电子科技集团公司第四十六研究所
发明人张颖;兰飞飞;杨丹丹;王军山
代理机构天津中环专利商标代理有限公司代理人暂无
摘要
本发明涉及一种过渡金属硫化物大面积连续薄膜覆盖率的检测方法,采用微分干涉显微镜明确大面积连续膜的检测区域,采用配置LabSpec测试软件的拉曼光谱仪检测整个区域,设定扫描区域的坐标和光斑移动步长,逐点面扫描,得到过渡金属硫化物连续膜的面扫描拉曼光谱,用双线夹取特征峰所对应的X轴方向的坐标位置,自动计算特征峰与X坐标轴之间夹取区域的区域面积,根据区域面积生成面扫描图像,黑色区域即为无特征峰、是面积不连续的区域,总区域的面积减去不连续的区域总面积与总区域的面积比值,即为连续膜的覆盖率。效果是,能够大大降低检测时间,且能够直观、准确的提供整个扫描区域连续膜的覆盖情况。

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