一种过渡金属硫化物大面积连续薄膜覆盖率的检测方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202010783266.3
IPC分类号：G01N21/65;G01N21/84
申请日期：
2020-08-06
申请人：
中国电子科技集团公司第四十六研究所

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著录项信息

专利名称	一种过渡金属硫化物大面积连续薄膜覆盖率的检测方法
申请号	CN202010783266.3	申请日期	2020-08-06
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-11-06	公开/公告号	CN111896521A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/65 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/62 所测试的材料在其中被激发，因之引起材料发光或入射光的波长发生变化的系统〔3〕 G01N21/63 光学激发的〔3〕 G01N21/65 喇曼散射〔3〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;6;5;;;G;0;1;N;2;1;/;8;4查看分类表>
申请人	中国电子科技集团公司第四十六研究所	申请人地址	天津市河西区洞庭路26号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国电子科技集团公司第四十六研究所	当前权利人	中国电子科技集团公司第四十六研究所
发明人	张颖;兰飞飞;杨丹丹;王军山
代理机构	天津中环专利商标代理有限公司	代理人	暂无

摘要

本发明涉及一种过渡金属硫化物大面积连续薄膜覆盖率的检测方法，采用微分干涉显微镜明确大面积连续膜的检测区域，采用配置LabSpec测试软件的拉曼光谱仪检测整个区域，设定扫描区域的坐标和光斑移动步长，逐点面扫描，得到过渡金属硫化物连续膜的面扫描拉曼光谱，用双线夹取特征峰所对应的X轴方向的坐标位置，自动计算特征峰与X坐标轴之间夹取区域的区域面积，根据区域面积生成面扫描图像，黑色区域即为无特征峰、是面积不连续的区域，总区域的面积减去不连续的区域总面积与总区域的面积比值，即为连续膜的覆盖率。效果是，能够大大降低检测时间，且能够直观、准确的提供整个扫描区域连续膜的覆盖情况。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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