具有角度补偿功能的大行程二维纳米工作台系统

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201320228958.7
IPC分类号：B25H1/02;B25H1/14
申请日期：
2013-04-28
申请人：
合肥工业大学

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	具有角度补偿功能的大行程二维纳米工作台系统
申请号	CN201320228958.7	申请日期	2013-04-28
法律状态	放弃专利权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B25H1/02 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B25 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手 B25H 车间设备，例如用于工件划线；车间储存设备 B25H1/00 工作台；用于放置轻便工具或工件的轻便台座或支架，在台座或支架上操作工作 B25H1/02 桌式的	IPC分类号	B;2;5;H;1;/;0;2;;;B;2;5;H;1;/;1;4查看分类表>
申请人	合肥工业大学	申请人地址	安徽省合肥市屯溪路193号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	合肥工业大学	当前权利人	合肥工业大学
发明人	黄强先;张昔峰;袁钰;韩彬;胡小娟
代理机构	安徽合肥华信知识产权代理有限公司	代理人	余成俊

摘要

本实用新型公开了一种具有角度补偿功能的大行程二维纳米工作台系统，采用基于压电陶瓷致动器和柔性铰链设计的六自由度微动工作台对大行程二维工作台进行直线定位及角度误差的综合补偿。本实用新型中，大行程二维工作台采用步进电机结合滚珠丝杠的驱动方式，具有较大的俯仰角、偏摆角、滚转角误差，定位精度在微米级；六自由度微动工作台具有纳米级的直线定位精度和毫秒级的角度定位精度。两者结合，组成了大行程二维纳米工作台系统。该系统在闭环控制系统的控制下通过六自由度微动工作台对大行程二维纳米工作台进行直线定位误差和角度误差的综合补偿，实现了二维大行程纳米定位。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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