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一种MEMS气体传感器生产用自动点胶系统及其生产方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201511019007.9
  • IPC分类号:B05C5/00;B05C11/10
  • 申请日期:
    2015-12-29
  • 申请人:
    武汉巨正环保科技有限公司;武汉工程大学
著录项信息
专利名称一种MEMS气体传感器生产用自动点胶系统及其生产方法
申请号CN201511019007.9申请日期2015-12-29
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2016-03-23公开/公告号CN105413956A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B05C5/00IPC分类号B;0;5;C;5;/;0;0;;;B;0;5;C;1;1;/;1;0查看分类表>
申请人武汉巨正环保科技有限公司;武汉工程大学申请人地址
湖北省武汉市东湖新技术开发区光谷大道58号关南福星医药园7栋9层01号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人武汉巨正环保科技有限公司,武汉工程大学当前权利人武汉巨正环保科技有限公司,武汉工程大学
发明人刘善堂;余庚;肖丽;郑第;周发武
代理机构重庆创新专利商标代理有限公司代理人付继德
摘要
本发明公开了一种MEMS气体传感器生产用自动点胶系统,非接触式点胶装置,其用于将浆料喷射点胶至芯片固定位置;视觉定位装置,其用于采集芯片的图片,并进行点胶位置定位;控制装置,其与所述非接触式点胶装置和视觉定位装置相连,并控制所述非接触式点胶装置和所述视觉定位装置进行点胶作业。本发明的MEMS气体传感器生产用自动点胶系统,非接触式点胶装置进行点胶作业,能够有效控制胶点大小及形貌,保证产品的一致性。

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