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高质量氧化铝真空镀膜装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202021857690.X
IPC分类号：C23C14/24;C23C14/08;C23C14/50
申请日期：
2020-08-31
申请人：
启东申通电子机械配件有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	高质量氧化铝真空镀膜装置
申请号	CN202021857690.X	申请日期	2020-08-31
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/24 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/24 真空蒸发〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;2;4;;;C;2;3;C;1;4;/;0;8;;;C;2;3;C;1;4;/;5;0查看分类表>
申请人	启东申通电子机械配件有限公司	申请人地址	江苏省南通市启东市汇龙镇新洪南路99号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	启东申通电子机械配件有限公司	当前权利人	启东申通电子机械配件有限公司
发明人	周兴
代理机构	南京正联知识产权代理有限公司	代理人	李寰

摘要

本实用新型公开一种高质量氧化铝真空镀膜装置，包括箱体，箱体内侧壁设有一层反射层，箱体内一侧设有支架，支架上从上到下依次设有置物台，支架底部通过转轴和电机相连，支架一侧设有加热装置，加热装置包括加热支架，加热支架上从上到下依次设有加热器，支架的另一侧设有抽气口。本申请有效提高对工件的镀膜效率，提高工件上的镀膜的均匀度，提高镀膜的优化率，提高企业收益。

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