通过电子束蒸发在部件上沉积保护涂层的设备

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202120339462.1
IPC分类号：C23C14/30;C23C14/08
申请日期：
2021-02-04
申请人：
乌克兰国家科学院巴顿焊接研究所电子束技术国际中心

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专利名称	通过电子束蒸发在部件上沉积保护涂层的设备
申请号	CN202120339462.1	申请日期	2021-02-04
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/30 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/24 真空蒸发〔4〕 C23C14/28 波能法或粒子辐射法（C23C 14/32至C23C 14/48优先）〔4〕 C23C14/30 电子轰击法〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;3;0;;;C;2;3;C;1;4;/;0;8查看分类表>
申请人	乌克兰国家科学院巴顿焊接研究所电子束技术国际中心	申请人地址	乌克兰基辅变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	乌克兰国家科学院巴顿焊接研究所电子束技术国际中心	当前权利人	乌克兰国家科学院巴顿焊接研究所电子束技术国际中心
发明人	K·Y·雅科夫乔克;V·O·巴尔斯科夫;Y·E·鲁道义;A·V·麦克特奇克
代理机构	北京市隆安律师事务所	代理人	权鲜枝

摘要

本实用新型涉及通过电子束蒸发在部件上沉积保护涂层的设备，所述设备包括具有半圆柱形热罩的真空室、至少一个带有蒸发材料的水冷坩埚、用于辐射加热所述部件的加热器和电子枪。热罩、带有蒸发材料的水冷坩埚和加热器构成所述真空室内的涂层沉积区。所述设备还具有可移动挡板，该挡板能够移动至所述涂层沉积区中，以屏蔽所述部件表面和所述热罩的内表面使其不受所述加热器和蒸发材料的表面的影响。所提出的设计在蒸发过程开始时保护所述部件表面，不使不良杂质和微滴进入，并且还保护加热器和蒸发材料的表面，不使冷凝碎片进入。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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