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一种储存和循环回收氯硅烷的装置及工艺

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201110039326.1
  • IPC分类号:F17D1/08
  • 申请日期:
    2011-02-17
  • 申请人:
    四川新光硅业科技有限责任公司
著录项信息
专利名称一种储存和循环回收氯硅烷的装置及工艺
申请号CN201110039326.1申请日期2011-02-17
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2011-12-21公开/公告号CN102287616A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号F17D1/08IPC分类号F;1;7;D;1;/;0;8查看分类表>
申请人四川新光硅业科技有限责任公司申请人地址
四川省乐山市乐高大道2号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人四川新光硅业科技有限责任公司当前权利人四川新光硅业科技有限责任公司
发明人唐猷成;王恒孝;黎展荣;蒲晓东
代理机构成都九鼎天元知识产权代理有限公司代理人刘雪莲
摘要
本发明公开了一种储存和循环回收氯硅烷的装置及循环回收氯硅烷的工艺。本发明储存氯硅烷的装置包括氯硅烷储罐、冷凝器,氯硅烷储罐与冷凝器之间设置有氯硅烷气体管道和氯硅烷冷凝液回流管,在氯硅烷气体管道上设置了气动开关阀,在冷凝器的氯硅烷冷凝液管与氯硅烷冷凝液回流管之间增设了缓冲罐、过滤器、气动调节阀,缓冲罐顶部与冷凝器气相入口之间还设置有回气管,氯硅烷冷凝管的出口处设置有信号接收器,信号接收器通过控制器与气动开关阀及气动调节阀之间信号连接。本发明过关闭气动调节阀和堵塞过滤器,能有效地阻止泄漏的冷却循环水进入氯硅烷储罐并与其中的氯硅烷发生反应,避免重大安全事故的发生。

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