具有可旋转分配臂的流体分配装置和方法

发明专利有效专利

申请号：
CN200380109307.5
IPC分类号：H01L21/00;G03F7/30;B05C5/02
申请日期：
2003-12-15
申请人：
阿斯穆勒美国有限公司

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著录项信息

专利名称	具有可旋转分配臂的流体分配装置和方法
申请号	CN200380109307.5	申请日期	2003-12-15
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2006-03-08	公开/公告号	CN1745455
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/00 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;0;0;;;G;0;3;F;7;/;3;0;;;B;0;5;C;5;/;0;2查看分类表>
申请人	阿斯穆勒美国有限公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	阿斯穆勒美国有限公司	当前权利人	阿斯穆勒美国有限公司
发明人	R·P·曼达尔;D·巴比基安
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	王波波

摘要

在晶片跟踪模块中使用可旋转液体分配臂和喷嘴可控地分配流体的方法和装置。为显影涂有光致抗蚀剂的衬底，可以具体地选定流体分配装置。一系列的一个或多个可旋转臂可以靠近显影模块内安装的衬底安装，其中每个臂支撑着与流体源相连的分配喷嘴。分配喷嘴可以具有多个喷嘴头部，用于分配选择的显影剂和漂洗流体。每个可旋转臂可以设计成绕其纵轴旋转，从而选择性地在不同的分配位置和非分配位置之间定位分配喷嘴，以减小溶液滴落到衬底上的危险。本发明还提供了使用具有可绕其纵轴旋转的分配臂的显影剂和漂洗流体分配装置来显影涂有光致抗蚀剂的半导体晶片的方法。在分配位置，臂或喷嘴本身可以旋转，从而使喷嘴头部指向晶片表面，以便于流体分配到表面上。而在非分配位置，喷嘴头部可以指向远离晶片表面，从而减小任何不需要的液滴落在上面的可能性。

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