一种分流式超高和极高真空规校准装置及方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200610087249.6
IPC分类号：G01L27/00;G01L21/00
申请日期：
2006-06-15
申请人：
中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所

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著录项信息

专利名称	一种分流式超高和极高真空规校准装置及方法
申请号	CN200610087249.6	申请日期	2006-06-15
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2006-11-22	公开/公告号	CN1865883
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01L27/00	IPC分类号	G;0;1;L;2;7;/;0;0;;;G;0;1;L;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人	中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所	申请人地址	甘肃省兰州市94号信箱变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所	当前权利人	中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所
发明人	李得天;郭美如
代理机构	中国航天科技专利中心	代理人	安丽

摘要

一种分流式超高和极高真空规校准装置及方法，采用无油双涡轮分子泵串联抽气机组与非蒸散型吸气剂泵组合方案获得10-10Pa极高真空；以惰性气体作为校准气体，将气体微流量计流出的惰性气体引入到一个分流室中，利用分流室上两个分子流流导相差100倍的小孔将气体分流到极高真空校准室和超高真空校准室中；在10-10～10-7Pa范围内校准时，打开非蒸散型吸气剂泵连接阀门；在高于10-7Pa范围内校准时，关闭非蒸散型吸气剂泵连接阀门。本发明的装置及方法可用于所有超高和极高真空规的校准，采用的极高真空获得方案运转成本低，由于非蒸散型吸气剂泵对惰性气体无抽速，既维持了极高真空本底，又不改变校准室的有效抽速。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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