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功率器件及其制造方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201810823505.6
  • IPC分类号:H01L29/06;H01L29/40
  • 申请日期:
    2018-07-25
  • 申请人:
    王永贵;阳林涛;邱一平
著录项信息
专利名称功率器件及其制造方法
申请号CN201810823505.6申请日期2018-07-25
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2018-12-14公开/公告号CN109004019A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L29/06IPC分类号H;0;1;L;2;9;/;0;6;;;H;0;1;L;2;9;/;4;0查看分类表>
申请人王永贵;阳林涛;邱一平申请人地址
广东省深圳市光明新区公明办事处塘尾社区尾前路67号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人王永贵,阳林涛,邱一平当前权利人王永贵,阳林涛,邱一平
发明人王永贵;阳林涛;邱一平
代理机构深圳市兰锋知识产权代理事务所(普通合伙)代理人刘小芹
摘要
本发明提供一种功率器件包括衬底、形成在衬底上的外延层、形成在所述外延层的第一掺杂区及与第一掺杂区相连的第二掺杂区、形成在所述第二掺杂区的终端结构,所述终端结构包括形成在第二掺杂区的多个间隔设置的第一注入区、形成在所述第二掺杂区的多个与第一注入区正交的第二注入区、形成在所述第二掺杂区的氧化层、形成在所述氧化层上的多个场板及引线层,所述第一注入区的横向长度与所述第二掺杂区的横向长度相同,所述第一注入区、第二注入区及从相邻两个第二注入区之间露出的第二掺杂区位于同一平面,所述场板与从相邻两个第二注入区之间露出的第二掺杂区对应设置。本发明还提供功率器件的制造方法,增强所述功率器件的耐压降低制造成本。

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