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一种阵列基板及其形成方法以及显示面板

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201910487173.3
  • IPC分类号:H01L23/60;H01L27/12;G02F1/1362
  • 申请日期:
    2019-06-05
  • 申请人:
    厦门天马微电子有限公司
著录项信息
专利名称一种阵列基板及其形成方法以及显示面板
申请号CN201910487173.3申请日期2019-06-05
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2019-08-27公开/公告号CN110176444A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L23/60IPC分类号H;0;1;L;2;3;/;6;0;;;H;0;1;L;2;7;/;1;2;;;G;0;2;F;1;/;1;3;6;2查看分类表>
申请人厦门天马微电子有限公司申请人地址
福建省厦门市翔安区翔安西路6999号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人厦门天马微电子有限公司当前权利人厦门天马微电子有限公司
发明人周秀峰;伍黄尧;赖国昌;周洪波
代理机构北京汇思诚业知识产权代理有限公司代理人王刚;龚敏
摘要
本发明提供一种阵列基板的其制作方法,包括:形成第一导电层,图案化第一导电层,形成多个第一器件部和多个连接部,多个连接部将多个第一器件部相互连接在一起;在图案化的第一导电层上层形成绝缘层,图案化绝缘层形成断开孔,断开孔位于连接部上;在图案化的绝缘层上层形成第二导电层,第二导电层还形成在断开孔中;图案化第二导电层,形成多个第二器件部,同时去除断开孔中的第二导电层和断开孔下的连接部。在本发明中,在形成位于多个第一器件部的同时,还形成多个将第一器件部相互连接在一起的连接部,使得多个第一器件部都是同一电位,不存在压差,不会发生彼此间的静电放电,避免了第一器件部的静电损伤。

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