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具有装在一条公共旋转轴线上的多臂的基片传送装置

发明专利无效专利

申请号：
CN99815293.5
IPC分类号：B25J18/00;B25J18/02;B25J9/06
申请日期：
1999-11-23
申请人：
布鲁克斯自动化公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	具有装在一条公共旋转轴线上的多臂的基片传送装置
申请号	CN99815293.5	申请日期	1999-11-23
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2002-01-23	公开/公告号	CN1332667
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B25J18/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B25 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手 B25J 机械手；装有操纵装置的容器（单独采摘水果、蔬菜、啤酒花或类似作物的自动装置入A01D 46/30；外科用的针头操纵器入A61B 17/062；与滚轧机有关的机械手入B21B 39/20；与锻压机有关的机械手入B21J 13/10；夹持轮子或其部件的装置入B60B 30/00；起重机入B66C；用于核反应堆中所用的燃料或其他材料的处理设备入G21C 19/00；机械手与加有防辐射的小室或房间的组合结构入G21F 7/06）〔5〕 B25J18/00 爪臂〔4〕	IPC分类号	B;2;5;J;1;8;/;0;0;;;B;2;5;J;1;8;/;0;2;;;B;2;5;J;9;/;0;6查看分类表>
申请人	布鲁克斯自动化公司	申请人地址	美国马萨诸塞州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	布鲁克斯自动化公司	当前权利人	布鲁克斯自动化公司
发明人	C·A·霍夫梅斯特
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	周备麟;章社杲

摘要

一种基片传送装置B具有：一个驱动部(24)、两个连接到驱动部的公共旋转轴线D上的、可单独活动的臂组合件(66、68)、和连接到臂组合件上的基片夹持器(38、39)。驱动部包括三个同心的驱动轴(50a、50b、50c)和一个连接到其中一个轴上的带轮。两个臂组合件被连接到另外两个轴上。

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