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机械手的旋转调节机构及搬运机械手

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110078627.9
  • IPC分类号:B65G47/90
  • 申请日期:
    2021-01-20
  • 申请人:
    北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
著录项信息
专利名称机械手的旋转调节机构及搬运机械手
申请号CN202110078627.9申请日期2021-01-20
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-06-01公开/公告号CN112875281A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B65G47/90IPC分类号B;6;5;G;4;7;/;9;0查看分类表>
申请人北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)申请人地址
北京市北京经济技术开发区泰河三街1号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)当前权利人北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
发明人靳卫国;刘洋;杨志
代理机构北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)代理人张延薇
摘要
一种机械手的旋转调节机构及搬运机械手,涉及机械手技术领域,所述机械手的旋转调节机构包括机械手旋转部、旋转板、第一驱动组件、第二驱动组件和转轴,所述转轴与所述旋转板转动连接,所述旋转板与所述机械手旋转部连接,所述第一驱动组件用于驱动所述转轴沿第一方向移动,所述第二驱动组件用于驱动所述转轴沿第二方向运动,所述第一方向与所述第二方向呈角度设置;所述转轴的移动轨迹位于一圆形轨迹上,所述圆形轨迹的圆心位于所述机械手的旋转部的轴线上。所述机械手的旋转调节机构用于转动机械手旋转部,使得机械手能够实现转动操作,从而提高机械手的对位精度。

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