一种太阳能电池的降温退火工艺

发明专利无效专利

申请号：
CN201610099702.9
IPC分类号：H01L31/18;H01L21/228
申请日期：
2016-02-24
申请人：
江苏永能光伏科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种太阳能电池的降温退火工艺
申请号	CN201610099702.9	申请日期	2016-02-24
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2016-06-29	公开/公告号	CN105720135A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L31/18 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L31/058 （转入H01L 31/0525，H02S 40/44） H01L31/18 专门适用于制造或处理这些器件或其部件的方法或设备〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;3;1;/;1;8;;;H;0;1;L;2;1;/;2;2;8查看分类表>
申请人	江苏永能光伏科技有限公司	申请人地址	江苏省苏州市张家港经济开发区南园路变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	江苏永能光伏科技有限公司	当前权利人	江苏永能光伏科技有限公司
发明人	袁磊;殷武;徐为;孙翔;王孟孟;常宇峰
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明公开了一种太阳能电池的降温退火工艺，它包含以下步骤：(1).扩散进舟；(2).氧化；(3).低温状态扩散通源；(4).高温状态扩散推结；(5).硅片出炉降温，稳定炉管温度；(6).二次进炉低温退火；(7).扩散出舟。本发明减小扩散“死层”，减少高温反应导致的热缺陷，从而提高太阳能电池的转化效率；对开路电压提升尤为明显，高出传统工艺2mV以上，且填充因子也有提高，从而电池片的转化效率明显提高；减少了扩散后硅片表面的PN结“死层”厚度，减少高温扩散带来的晶格损伤，提高少子寿命。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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