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废气的减压除害装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201880025531.2
  • IPC分类号:B01D53/76;B01D53/46;B01D53/68;F23G7/06;H01L21/02
  • 申请日期:
    2018-05-02
  • 申请人:
    北京康肯环保设备有限公司
著录项信息
专利名称废气的减压除害装置
申请号CN201880025531.2申请日期2018-05-02
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2019-12-13公开/公告号CN110573234A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B01D53/76IPC分类号B;0;1;D;5;3;/;7;6;;;B;0;1;D;5;3;/;4;6;;;B;0;1;D;5;3;/;6;8;;;F;2;3;G;7;/;0;6;;;H;0;1;L;2;1;/;0;2查看分类表>
申请人北京康肯环保设备有限公司申请人地址
北京市朝阳区东四环中路41号嘉泰国际大厦A-630 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京康肯环保设备有限公司当前权利人北京康肯环保设备有限公司
发明人前田昌志;吉田哲久;柳泽道彦;塚田勉;今村启志
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所代理人刘杨
摘要
本发明提供能够使稀释用的氮气的使用极小化、能量的利用效率和经济性优异的废气的除害装置。即,本发明的废气的减压除害装置具有反应筒(16),该反应筒(16)将经由真空泵(14)从废气产生源(12)供给的废气(E)在形成于其内部的废气处理空间(16a)中通过电热加热器(18)或等离子体加热或激发而进行分解和/或反应处理。在该反应筒(16)的废气出口(20)侧连接有从上述真空泵(14)的排气口到上述反应筒(16)的内部进行减压的后级真空泵(22)。由水封泵构成该后级真空泵(22),并且设置用清洗水(W)对上述反应筒(16)的废气流路的下游端侧进行水洗的水洗部件(24)。然后,将从该水洗部件(24)供给的清洗水(W)作为上述后级真空泵(22)的密封水。

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