蚀刻机

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201821454165.6
IPC分类号：C23F1/08
申请日期：
2018-09-05
申请人：
东莞宇宙电路板设备有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	蚀刻机
申请号	CN201821454165.6	申请日期	2018-09-05
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23F1/08 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23F 非机械方法去除表面上的金属材料（电浸蚀法加工金属入B23H；火焰法清除表层金属材料入B23K 7/00；用激光束加工金属入B23K 26/00）；金属材料的缓蚀；一般防积垢（电解或电泳法处理金属表面或金属覆层入C25D，C25F）；至少一种在C23大类中所列的方法及至少一种在C21D、C22F小类或者C25大类中所列的方法之多步法金属材料表面处理〔4〕 C23F1/00 金属材料的化学法蚀刻〔2〕 C23F1/08 装置，如照相印刷制版装置	IPC分类号	C;2;3;F;1;/;0;8查看分类表>
申请人	东莞宇宙电路板设备有限公司	申请人地址	广东省东莞市凤岗镇五联工业园变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东莞宇宙电路板设备有限公司	当前权利人	东莞宇宙电路板设备有限公司
发明人	陈德和
代理机构	深圳中一联合知识产权代理有限公司	代理人	张全文

摘要

本实用新型提供了一种蚀刻机，包括设有开窗的蚀刻室、封盖于开窗上的内层玻璃、与内层玻璃间隔设置并封盖于开窗上的外层玻璃以及用于支撑内层玻璃和外层玻璃的支撑框，支撑框安装于蚀刻室上，支撑框环绕开窗，支撑框包括开窗下端的底板，在底板对应于内层玻璃上开设有储液槽，储液槽内填充有密封液体，以液封内层玻璃与底板之间的缝隙，避免蚀刻室内的蚀刻药水所挥发出的蚀刻气体从内层玻璃与底板之间的缝隙中外溢而结晶；同时，也避免污染工作环境，提升设备外部的整洁度，还能降低人工维护成本。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

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