探测器及其制造方法

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专利名称	探测器及其制造方法
申请号	CN200580031215.9	申请日期	2005-10-20
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2007-08-22	公开/公告号	CN101023363
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R1/067 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R1/00 包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R 31/00组中的各类仪器或装置的零部件（测量电消耗量的机电装置所特有的结构零部件入G01R 11/02）〔3，8〕 G01R1/02 一般结构零部件 G01R1/06 测量引线；测量探针（G01R 19/145，G01R 19/165优先）〔3〕 G01R1/067 测量探针〔3〕	IPC分类号	G01R1/067查看分类表>
申请人	东京毅力科创株式会社	申请人地址	日本*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东京毅力科创株式会社	当前权利人	东京毅力科创株式会社
发明人	星野智久;山西良树;桥本浩幸
代理机构	北京东方亿思知识产权代理有限责任公司	代理人	柳春雷

摘要

探针(20)包括：悬臂(21)、柱状部(22)以及顶部(23)，以在悬臂(21)的一端悬臂支承的方式形成柱状部(22)，在柱状部(22)的顶端形成有顶部(23)。柱状部(22)的高度大于顶部(23)的高度，选择柱状部(22)与顶部(23)的高度使其为宽度的2倍以上。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

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