具有小的机械张力的多晶材料和用于产生多晶材料的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201810551540.7
IPC分类号：B81B3/00;B81C1/00;H01L29/04
申请日期：
2018-05-31
申请人：
罗伯特·博世有限公司

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著录项信息

专利名称	具有小的机械张力的多晶材料和用于产生多晶材料的方法
申请号	CN201810551540.7	申请日期	2018-05-31
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2018-12-11	公开/公告号	CN108975262A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B81B3/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B8 微观结构技术；纳米技术 B81 微观结构技术〔7〕 B81B 微观结构的装置或系统，例如微观机械装置（压电元件、电致伸缩元件或磁致伸缩元件本身入H01L41/00）〔7〕 B81B3/00 由柔性或可变形的元件组成的装置，例如由弹性舌或膜片组成（B81B 5/00优先）〔7〕	IPC分类号	B;8;1;B;3;/;0;0;;;B;8;1;C;1;/;0;0;;;H;0;1;L;2;9;/;0;4查看分类表>
申请人	罗伯特·博世有限公司	申请人地址	德国斯图加特变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	罗伯特·博世有限公司	当前权利人	罗伯特·博世有限公司
发明人	A·哈特利布;H·施塔尔;J·拜恩特纳;J·巴茨
代理机构	永新专利商标代理有限公司	代理人	侯鸣慧

摘要

本发明提出一种具有小的机械张力的多晶材料(5)，其中，多晶材料(5)包括第一类型(1)的一个或多个层和第二类型(2)的一个或多个层，其中，第一类型(1)的层和第二类型(2)的层分别具有至少一种多晶材料组分，其特征在于，第一类型(1)的层相比于第二类型(2)的层具有较小的平均晶粒尺寸，其中，第一类型(1)的层和第二类型(2)的层以交替的顺序至少部分相叠地布置，其中，在第一类型(1)的层和第二类型(2)的层之间的过渡可以是突然的或者连续的。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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