折叠空间电荷区肖特基二极管的制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201910631910.2
IPC分类号：--
申请日期：
2019-07-12
申请人：
西安科锐盛创新科技有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	折叠空间电荷区肖特基二极管的制备方法
申请号	CN201910631910.2	申请日期	2019-07-12
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2019-11-26	公开/公告号	CN110504166A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	西安科锐盛创新科技有限公司	申请人地址	陕西省西安市高新区高新路86号领先时代广场（B座）第2幢1单元22层12202号房51号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	西安科锐盛创新科技有限公司	当前权利人	西安科锐盛创新科技有限公司
发明人	岳庆冬;王娅
代理机构	西安嘉思特知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	刘长春;闫家伟

摘要

本发明涉及一种折叠空间电荷区肖特基二极管的制备方法，包括步骤：选取Si衬底；在Si衬底的表面形成绝缘层；在绝缘层的表面形成第一外延层；在第一外延层的表面形成第二外延层；第一外延层和第二外延层之间形成二维电子气；对第二外延层进行离子掺杂；在第二外延层的表面形成第三外延层；在第三外延层上刻蚀形成第一凹槽，并填充；在第三外延层上，且在第一凹槽的两侧形成第一金属电极和第二金属电极。本发明通过在第三外延层上设置第一凹槽，可以降低肖特基二极管的结电容，进而提升能量转换效率；同时，通过在第一外延层和第二外延层之间形成二维电子气，可以获得较高的电子迁移率，减少串联电阻，进一步提升能量转换效率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供