加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

一种磁控溅射靶挡板机构

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201911037022.4
  • IPC分类号:C23C14/35
  • 申请日期:
    2019-10-29
  • 申请人:
    中国电子科技集团公司第四十八研究所
著录项信息
专利名称一种磁控溅射靶挡板机构
申请号CN201911037022.4申请日期2019-10-29
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-05-04公开/公告号CN112746254A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/35IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;3;5查看分类表>
申请人中国电子科技集团公司第四十八研究所申请人地址
湖南省长沙市天心区新开铺路1025号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国电子科技集团公司第四十八研究所当前权利人中国电子科技集团公司第四十八研究所
发明人佘鹏程;彭华东;程文进;龚俊;罗超
代理机构湖南兆弘专利事务所(普通合伙)代理人徐好
摘要
本发明公开了一种磁控溅射靶挡板机构,包括挡板、第一连接臂、第二连接臂、第一连接销、第二连接销及伸缩驱动组件,所述第一连接销设于溅射靶上,所述第一连接臂和第二连接臂可转动地设于第一连接销上,所述挡板与第一连接臂相连,所述第二连接臂下端与第一连接臂相连,第二连接臂上端设有滑槽,所述第二连接销设于伸缩驱动组件下端并定位于所述滑槽内。本发明具有结构简单可靠、不易损坏、调节角度方便等优点。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供