溅镀装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN02204370.5
IPC分类号：--
申请日期：
2002-02-01
申请人：
仕钦科技企业股份有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	溅镀装置
申请号	CN02204370.5	申请日期	2002-02-01
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	仕钦科技企业股份有限公司	申请人地址	台湾省台北县土城市土城工业区中山路10号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	仕钦科技企业股份有限公司	当前权利人	仕钦科技企业股份有限公司
发明人	林祺芳;曾子峻
代理机构	上海专利商标事务所	代理人	任永武

摘要

一种溅镀装置，包括一本体、一滑动件、一工作台、及至少一靶体，其特点是该本体形成有至少一密闭容置空间并设有连通于该容置空间的一抽气装置及固设于该本体的一致动装置；该滑动件连接于该致动装置，同时受其驱动而于该容置空间内滑动，并由该滑动轨迹界定一假想面；该工作台，具有一台面供固定置放待加工的工件，且沿与该假想面成一特定角度的一枢轴枢设于该滑动件上，而沿该枢轴相对于该滑动件转动；以及该至少一靶体，与该工作台的台面相隔一段距离地设置于该本体形成有该容置空间的一内侧壁内。本实用新型不需以往的准直管，便可解决工件表面凹穴因遮蔽效应所造成的填塞不良，进而提升阶梯覆盖率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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