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具有铁电场效应晶体管存储器阵列的设备及相关方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201480033124.8
  • IPC分类号:H01L29/78;H01L21/335
  • 申请日期:
    2014-05-15
  • 申请人:
    美光科技公司
著录项信息
专利名称具有铁电场效应晶体管存储器阵列的设备及相关方法
申请号CN201480033124.8申请日期2014-05-15
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2016-02-03公开/公告号CN105308751A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L29/78
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;9;/;7;8;;;H;0;1;L;2;1;/;3;3;5查看分类表>
申请人美光科技公司申请人地址
美国爱达荷州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人美光科技公司当前权利人美光科技公司
发明人D·V·尼尔摩·拉玛斯瓦米;亚当·D·约翰逊
代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司代理人路勇
摘要
一种设备包括:场效应晶体管FET结构,其水平地及垂直地堆叠成三维存储器阵列架构;栅极,其在所述多个FET结构之间垂直地延伸且水平地隔开;及铁电材料,其分离所述FET结构与所述栅极。个别铁电FETFeFET形成于所述FET结构、所述栅极及所述铁电材料的相交点处。另一设备包括多个位线及字线。每一位线具有与铁电材料耦合的至少两个侧,使得每一位线由相邻栅极共享以形成多个FeFET。一种操作存储器阵列的方法包括:将电压的组合施加到多个字线及数字线以用于多个FeFET存储器单元的所要操作,至少一个数字线使多个FeFET存储器单元可由相邻栅极存取。

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