一种MiniLED晶圆外观缺陷检测系统及方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110174823.6
IPC分类号：G01N21/95;G01N21/01
申请日期：
2021-02-09
申请人：
惠州高视科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种MiniLED晶圆外观缺陷检测系统及方法
申请号	CN202110174823.6	申请日期	2021-02-09
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-06-08	公开/公告号	CN112924472A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/95 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/84 专用于特殊应用的系统〔3〕 G01N21/88 测试瑕疵、缺陷或污点的存在〔3〕 G01N21/95 特征在于待测物品的材料或形状（G01N 21/89至G01N 21/91，G01N 21/94优先）〔7〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;9;5;;;G;0;1;N;2;1;/;0;1查看分类表>
申请人	惠州高视科技有限公司	申请人地址	广东省惠州市惠澳大道惠南高新科技产业园华泰路南路2号科技创业中心CD栋第四层西侧变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	惠州高视科技有限公司	当前权利人	惠州高视科技有限公司
发明人	苏达顺;王巧彬;周波;李国晓;邹伟金
代理机构	惠州市超越知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	陈文福

摘要

本发明涉及一种Mini LED晶圆外观缺陷光学检测系统及方法，所述检测系统包括大靶面高分辨率相机、高倍高数值孔径镜头、光源、位移载物台、计算机图像处理系统等；其系统的分辨率可小于1μm，对Mini LED的表面缺陷可实现清晰成像分辨；可以在一张图片对超过1000颗晶粒进行同步分析检测，相比于传统的显微镜人工目检的方式有50倍的效率提升，实现了高精度高效率自动化的光学检测。所述检测系统既能满足高精度的检测要求，又能进行高效率扫描拍摄成像，适合用于Mini LED表面缺陷检测。所述检测系统采用机器视觉方式代替人工目检对缺陷自动判定及分类，可实现大批量自动化测量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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