用于等离子体室的电极的非对称性射频驱动装置

发明专利有效专利

申请号：
CN200880124338.0
IPC分类号：H05H1/34;H01L21/3065
申请日期：
2008-12-24
申请人：
应用材料股份有限公司

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专利名称	用于等离子体室的电极的非对称性射频驱动装置
申请号	CN200880124338.0	申请日期	2008-12-24
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2010-12-08	公开/公告号	CN101911840A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H05H1/34 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H05 其他类目不包含的电技术 H05H 等离子体技术（离子束管入H01J 27/00；磁流体发电机入H02K 44/08；涉及生成等离子体的产生X射线的入H05G 2/00）；加速的带电粒子或中子的产生（从放射源获取中子的入G21，例如：G21B，G21C，G21G）；中性分子或原子射束的产生或加速（原子钟入G04F 5/14；受激发射器件入H01S；通过与由分子、原子或亚原子粒子的能级所确定的基准频率相比较而进行频率调整的入H03L 7/26） H05H1/00 等离子体的产生；等离子体的处理（等离子体技术在热核聚变反应器的应用入G21B 1/00） H05H1/24 等离子体的产生〔2〕 H05H1/26 等离子体喷管〔2〕 H05H1/32 应用电弧的（H05H 1/28优先）〔3〕 H05H1/34 零部件，例如电极、喷嘴〔3〕	IPC分类号	H;0;5;H;1;/;3;4;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;6;5查看分类表>
申请人	应用材料股份有限公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	应用材料公司	当前权利人	应用材料公司
发明人	乔瑟夫·库德拉;卡尔·A·索伦森;崔寿永;约翰·M·怀特
代理机构	北京律诚同业知识产权代理有限公司	代理人	徐金国;钟强

摘要

RF功率耦合至等离子体室的电极上的一个或多个RF驱动点，使得耦合至电极的较靠近该工件通道的半部上的RF功率值超过耦合至该电极的另一半部上多个RF驱动点(如果有的话)的RF功率值。或者，RF功率耦合至等离子体室的电极上一个或多个RF驱动点，使得这些驱动点位置的加权平均在该电极中心与该工件通道之间。该加权平均是利用耦合至该驱动点位置的RF功率的时间平均值来加权每个驱动点位置所计算而得。本发明抵消掉在邻近电极最靠近通道的末端处的等离子体密度的增加，否则在邻近电极最靠近通道的末端处将存在等离子体密度增加的现象。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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