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通过干法真空气相沉积制造多层薄膜的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200880101661.6
  • IPC分类号:C23C14/00
  • 申请日期:
    2008-07-31
  • 申请人:
    株式会社世可
著录项信息
专利名称通过干法真空气相沉积制造多层薄膜的方法
申请号CN200880101661.6申请日期2008-07-31
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2010-07-21公开/公告号CN101784692A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/00IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;0;0查看分类表>
申请人株式会社世可申请人地址
韩国京畿道 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社世可当前权利人株式会社世可
发明人金炫中;金洪彻;金正来
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所代理人柳冀
摘要
本发明涉及通过使用干法真空气相沉积制造多层薄膜的方法,特别地,其涉及通过使用稳定且简单的干法真空气相沉积制造多层薄膜的方法,该方法能够为移动电话、MP3播放器、便携式多媒体播放器(PMP)、数字多媒体广播(DMB)收音机、汽车导航系统、笔记本电脑等的外壳、窗口、键盘、功能键部件、各种附属部件等提供视觉上的美感和奢华的印象。

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