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微机械传感器和用于制造微机械传感器的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201410418229.7
  • IPC分类号:G01P15/08
  • 申请日期:
    2014-08-22
  • 申请人:
    罗伯特·博世有限公司
著录项信息
专利名称微机械传感器和用于制造微机械传感器的方法
申请号CN201410418229.7申请日期2014-08-22
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2015-03-18公开/公告号CN104422786A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01P15/08IPC分类号G;0;1;P;1;5;/;0;8查看分类表>
申请人罗伯特·博世有限公司申请人地址
德国斯图加特 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人罗伯特·博世有限公司当前权利人罗伯特·博世有限公司
发明人G-N-C·乌尔希里;A·奥尔托
代理机构永新专利商标代理有限公司代理人郭毅
摘要
本发明提出一种微机械传感器,其包括具有主延伸平面的衬底和通过扭转单元与衬底连接的摆杆结构,扭转单元主要沿扭转轴线延伸,扭转轴线基本上平行于衬底的主延伸平面地设置,摆杆结构由静止位置绕扭转轴线可摆动到偏转位置中并且相对于扭转轴线具有非对称的质量分布,微机械传感器具有阻尼结构,阻尼结构配置用于阻尼摆杆结构沿与衬底的主延伸平面基本上平行的X方向的平移运动,和/或扭转单元具有第一扭转元件和与第一扭转元件连接的第二扭转元件,微机械传感器如此配置,使得摆杆结构绕扭转轴线的扭转模式的第一共振频率小于摆杆结构的振动模式的第二共振频率,振动模式包括摆杆结构沿与主延伸平面基本上平行的振动平面的振动运动。

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