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模版处理系统

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200510131478.9
  • IPC分类号:G03F7/20;H01L21/027
  • 申请日期:
    2005-12-14
  • 申请人:
    未来儿株式会社
著录项信息
专利名称模版处理系统
申请号CN200510131478.9申请日期2005-12-14
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2006-06-21公开/公告号CN1790168
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0;;;H;0;1;L;2;1;/;0;2;7查看分类表>
申请人未来儿株式会社申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人未来儿株式会社当前权利人未来儿株式会社
发明人松鸟千明;柳原公一
代理机构中国专利代理(香港)有限公司代理人温大鹏
摘要
对方向错误地安装的模版输送容器(11)进行自动修正。该模版处理系统具有模版输送容器、输送模版输送容器的输送机构(4、5)、烧制电路图案的曝光设备、保管多个模版(12)的模版储存器(2)。在从模版储存器至曝光设备(1)的烧制位置之间的路径上,备有检测模版输送容器的朝向并将模版输送容器变换为适当朝向的朝向变换机构(81)。朝向变换机构(81)备有:使模版输送容器旋转的旋转驱动部(82)、设置于从模版储存器到曝光设备(1)的烧制位置之间的路径的任意处并检测模版输送容器的方向的方向检测机构(83)、当由方向检测机构(83)检测出的方向偏离180°时控制旋转驱动部(82)修正成标准方向的控制部(84)。

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