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一种飞秒激光双光子微加工装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202020317654.8
  • IPC分类号:B23K26/00;B23K26/046
  • 申请日期:
    2020-03-13
  • 申请人:
    宁波大学;宁波格特威电机有限公司
著录项信息
专利名称一种飞秒激光双光子微加工装置
申请号CN202020317654.8申请日期2020-03-13
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B23K26/00IPC分类号B;2;3;K;2;6;/;0;0;;;B;2;3;K;2;6;/;0;4;6查看分类表>
申请人宁波大学;宁波格特威电机有限公司申请人地址
浙江省宁波市江北区风华路818号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人宁波大学,宁波格特威电机有限公司当前权利人宁波大学,宁波格特威电机有限公司
发明人何子健;陶卫东;孟祥俊;陈显兵
代理机构宁波诚源专利事务所有限公司代理人徐雪波;王莹
摘要
本实用新型涉及一种飞秒激光双光子微加工装置,包括控制器;五维运动平台,与控制器通信连接;飞秒激光器,设置在五维运动平台上;光开关,设置在飞秒激光器的激光传播路径上,通过移动来阻断和打开激光传播;三维运动平台,与控制器通信连接;样品台,设置在三维运动平台,用于放置待加工的样品;激光反射镜,设置在飞秒激光器的激光传播路径上,用于改变激光的传播方向而将激光反射至样品上;聚焦透镜,设置在样品台上用于放置样品的位置上方,用于聚焦激光;摄像头,设置在聚焦透镜的上方。该飞秒激光双光子微加工装置能够控制飞秒激光器进行运动,减少反射镜片数量,降低光路调整的复杂度。

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