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一种半导体器件及其制造方法、电子装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201410369690.8
  • IPC分类号:H01L21/8238;H01L21/28
  • 申请日期:
    2014-07-30
  • 申请人:
    中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
著录项信息
专利名称一种半导体器件及其制造方法、电子装置
申请号CN201410369690.8申请日期2014-07-30
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2016-02-03公开/公告号CN105304566A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/8238
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;8;2;3;8;;;H;0;1;L;2;1;/;2;8查看分类表>
申请人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请人地址
上海市浦东新区张江路18号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司当前权利人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
发明人赵简;邵群
代理机构北京市磐华律师事务所代理人董巍;高伟
摘要
本发明提供一种半导体器件及其制造方法、电子装置,所述方法包括:提供具有对准标记区的半导体衬底,在其中形成有环绕包围所述对准标记区的浅沟槽隔离结构,在浅沟槽隔离结构的顶部与半导体衬底的上表面之间形成有凹坑;形成作为对准标记的伪栅极结构;依次形成接触孔蚀刻停止层和层间介电层,覆盖伪栅极结构并完全填充所述凹坑,所述层间介电层包括自下而上层叠的第一层间介电层和第二层间介电层,后续实施化学机械研磨时,研磨液对第二层间介电层的研磨速率低于对第一层间介电层的研磨速率;执行所述研磨,直至露出伪栅极结构的顶部。根据本发明,可以提升所述研磨结束后的层间介电层的厚度,确保所需形成的接触孔的特征尺寸以及对准精度。

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