一种作为二次敏感结构的高Q值谐振梁结构

发明专利无效专利

申请号：
CN201811220044.X
IPC分类号：B81B3/00
申请日期：
2018-10-19
申请人：
北京航空航天大学

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著录项信息

专利名称	一种作为二次敏感结构的高Q值谐振梁结构
申请号	CN201811220044.X	申请日期	2018-10-19
法律状态	撤回	申报国家	暂无
公开/公告日	2019-03-08	公开/公告号	CN109437086A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B81B3/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B8 微观结构技术；纳米技术 B81 微观结构技术〔7〕 B81B 微观结构的装置或系统，例如微观机械装置（压电元件、电致伸缩元件或磁致伸缩元件本身入H01L41/00）〔7〕 B81B3/00 由柔性或可变形的元件组成的装置，例如由弹性舌或膜片组成（B81B 5/00优先）〔7〕	IPC分类号	B;8;1;B;3;/;0;0查看分类表>
申请人	北京航空航天大学	申请人地址	北京市海淀区学院路37号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京航空航天大学	当前权利人	北京航空航天大学
发明人	邢维巍;邹梦启;樊尚春;韦祎
代理机构	北京科迪生专利代理有限责任公司	代理人	杨学明;卢纪

摘要

本发明公开了一种作为二次敏感结构的高Q值谐振梁结构，属于传感器技术领域。该结构主要包括第一谐振梁、第二谐振梁、第一支撑岛、第二支撑岛、第三支撑岛、第四支撑岛和衬底；第一谐振梁、第二谐振梁通过两端支撑岛固定于衬底上表面，二者间隔一定距离并排平行放置；第一谐振梁、第二谐振梁保持自激振荡，垂直于衬底上表面做反向振动，通过二者之间的振动抵消减小谐振梁通过支撑岛传递到衬底耗散出去的能量，达到提高Q值的目的。相对于现有的横向振动敏感结构，该结构设计简单，降低了加工难度，成品率高。

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该专利没有引用任何外部专利数据！

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