发电用太阳能高温集热管卧式镀膜机

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201020686580.1
IPC分类号：C23C14/35;C23C14/02;C23C14/50
申请日期：
2010-12-29
申请人：
衡阳市真空机电设备有限公司

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专利名称	发电用太阳能高温集热管卧式镀膜机
申请号	CN201020686580.1	申请日期	2010-12-29
法律状态	放弃专利权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/35 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/34 溅射〔4〕 C23C14/35 利用磁场的，例如磁控溅射〔5〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;3;5;;;C;2;3;C;1;4;/;0;2;;;C;2;3;C;1;4;/;5;0查看分类表>
申请人	衡阳市真空机电设备有限公司	申请人地址	湖南省衡阳市高新技术开发区蔡伦路36号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	衡阳市真空机电设备有限公司	当前权利人	衡阳市真空机电设备有限公司
发明人	李云辉;李云松;华冬辉
代理机构	衡阳市科航专利事务所	代理人	刘勋阶

摘要

一种发电用太阳能高温集热管卧式镀膜机，包括圆柱形卧式上开门结构的真空室1、靶安装管件2、工件架3、固定齿盘4、支承轮5和旋转驱动机构，靶安装管件2通过左、右法兰7安装在真空室1内的左、右侧板11上，其上安装有平面磁控靶22或/和旋转园柱磁控靶23；工件架3由转盘31、齿盘32、连杆33和可伸缩的左、右自转轴34组成，固定齿轮4通过支承柱41固定在真空室1的右侧板11上，旋转驱动机构包括动力输入轴8和动力输入轴8连接的驱动齿轮9，驱动齿轮9与转盘31啮合。本实用新型将立式结构改为卧式结构，破解了超长管镀膜所引起的设备超高、厂房超高、使用维护等许多难题，操作方便可靠，没有油气污染，膜层的质量更有保证。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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