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一种MO源钢瓶专用的残留物处理装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201720583256.9
  • IPC分类号:F17C13/00;F17C5/06
  • 申请日期:
    2017-05-24
  • 申请人:
    苏州普耀光电材料有限公司
著录项信息
专利名称一种MO源钢瓶专用的残留物处理装置
申请号CN201720583256.9申请日期2017-05-24
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号F17C13/00IPC分类号F;1;7;C;1;3;/;0;0;;;F;1;7;C;5;/;0;6查看分类表>
申请人苏州普耀光电材料有限公司申请人地址
江苏省苏州市吴中经济开发区民丰路288号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人苏州普耀光电材料有限公司当前权利人苏州普耀光电材料有限公司
发明人顾宏伟;茅嘉原;李敏;王士峰;洪海燕;严金林;刘纪亮
代理机构苏州国诚专利代理有限公司代理人刘彦
摘要
本实用新型公开了一种MO源钢瓶专用的残留物处理装置,包括氮气泵,所述氮气泵的出口端设有氮气控制阀,所述氮气控制阀远离氮气泵的一侧设有烘箱,所述烘箱底部设有多个MO源钢瓶放置槽,所述MO源钢瓶放置槽的上方两侧均设有阀门,所述氮气控制阀的出口端通过连接管与烘箱内阀门连通;所述烘箱远离氮气泵的一侧设有三通阀门,所述三通阀门上端出口端通过连接管与接收罐连通。本实用新型通过氮气泵往MO源钢瓶中通入惰性气体,利用气压将残留的MO源排入接收罐内,节约了资源,再利用真空泵与烘箱作用把MO源钢瓶以及连接管中剩余的产品抽到冷阱中,使MO源钢瓶中的残留物处理率达到98%以上,保证了续水清洗MO源钢瓶的安全性。

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