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用于制备氮化硅间隙壁结构的方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200610140931.7
  • IPC分类号:H01L21/31
  • 申请日期:
    2006-10-17
  • 申请人:
    应用材料公司
著录项信息
专利名称用于制备氮化硅间隙壁结构的方法
申请号CN200610140931.7申请日期2006-10-17
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2007-05-09公开/公告号CN1959941
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/31
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;3;1查看分类表>
申请人应用材料公司申请人地址
美国加利福尼亚州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人应用材料公司当前权利人应用材料公司
发明人R·苏亚那拉亚南;萨恩吉夫·唐顿
代理机构北京东方亿思知识产权代理有限责任公司代理人肖善强
摘要
本发明提供用于半导体衬底上制备间隙壁结构的方法的实施例。在一个实施例中,用于在半导体衬底上制备间隙壁结构的方法包括提供包含基底结构的衬底,所述间隙壁结构将被形成在所述基底结构上。间隙壁结构通过如下步骤形成在基底结构上:在所述基底结构上沉积包括氮化硅的第一层;在所述第一层上沉积包括基于硅的电介质材料的第二层;以及在所述第二层上沉积包括氮化硅的第三层。第一、第二和第三层在一个处理反应器中沉积。

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