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一种梯度递增结构防液涂层的制备方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201710049183.X
  • IPC分类号:C23C16/455;C23C16/50
  • 申请日期:
    2017-01-23
  • 申请人:
    无锡荣坚五金工具有限公司
著录项信息
专利名称一种梯度递增结构防液涂层的制备方法
申请号CN201710049183.X申请日期2017-01-23
法律状态暂无申报国家暂无
公开/公告日2017-06-13公开/公告号CN106835075A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/455IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;5;5;;;C;2;3;C;1;6;/;5;0查看分类表>
申请人无锡荣坚五金工具有限公司申请人地址
江苏省无锡市惠山经济开发区玉祁配套区东环路182号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司当前权利人江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司
发明人宗坚
代理机构大连理工大学专利中心代理人梅洪玉
摘要
一种梯度递增结构防液涂层的制备方法,属于等离子化学气相沉积技术领域。该方法中:首先将基材置于等离子体室的反应腔体内,对反应腔体连续抽真空,将反应腔体内的真空度抽到10‑200毫托,通入惰性气体或氮气;其次同时通入第一单体蒸汽、第二单体蒸汽、第三单体蒸汽;开启等离子体放电,进行化学气相沉积;放电结束,关闭等离子体电源,停止通入第一单体蒸汽、第二单体蒸汽、第三单体蒸汽,持续抽真空,保持反应腔体真空度为10‑200毫托1‑5min后通入大气至一个大气压,然后取出基材即可。本发明通过同时通入单体蒸汽,并控制单体蒸汽的流量以不同的速率递增,制得的涂层结构韧性硬度为梯度变化,可降低应力开裂、变形,同时拥有较好的阻隔防护性能。

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