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观察方法、检查装置及检查方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200880006492.8
IPC分类号：G01N21/956;H01L21/66;G01B11/30
申请日期：
2008-02-27
申请人：
株式会社尼康

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	观察方法、检查装置及检查方法
申请号	CN200880006492.8	申请日期	2008-02-27
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2010-01-06	公开/公告号	CN101622525
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/956 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/84 专用于特殊应用的系统〔3〕 G01N21/88 测试瑕疵、缺陷或污点的存在〔3〕 G01N21/95 特征在于待测物品的材料或形状（G01N 21/89至G01N 21/91，G01N 21/94优先）〔7〕 G01N21/956 检测物品表面上的图案〔7〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;9;5;6;;;H;0;1;L;2;1;/;6;6;;;G;0;1;B;1;1;/;3;0查看分类表>
申请人	株式会社尼康	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社尼康	当前权利人	株式会社尼康
发明人	深泽和彦
代理机构	中原信达知识产权代理有限责任公司	代理人	暂无

摘要

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