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一种一体式冷冻弧源

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201620436071.0
  • IPC分类号:C23C14/32
  • 申请日期:
    2016-05-14
  • 申请人:
    佛山市佛欣真空技术有限公司
著录项信息
专利名称一种一体式冷冻弧源
申请号CN201620436071.0申请日期2016-05-14
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/32IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;3;2查看分类表>
申请人佛山市佛欣真空技术有限公司申请人地址
广东省佛山市南海区狮山镇罗村联和工业区联桂中路7号之二(住所申报) 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人佛山市佛欣真空技术有限公司当前权利人佛山市佛欣真空技术有限公司
发明人武文全
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本实用新型公开了一种一体式冷冻弧源,涉及真空离子镀技术领域,包括引弧组件、蒸发源、水冷套、调节套、屏蔽组件、法兰和磁场微调组件,所述蒸发源设于法兰的右侧并通过调节套固定在法兰上,所述水冷套设于法兰的左侧,水冷套与法兰一体焊接成型并组成一水冷腔,水冷腔左侧上下分别设有进水口和出水口,所述引弧组件安装在法兰上并位于蒸发源的侧面,所述磁场微调组件设于水冷套的左侧并通过封盖固定,所述屏蔽组件安装于法兰的侧面,本实用新型采用整体焊接工艺,水冷套与法兰一体化焊接,使其燃烧材料时,表面温度低,同时增加大水冷套,使其流量大,效果佳,避免产生过热现象,整体结构紧凑,安装方便。

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