检查单元以及检查系统

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201920878815.8
IPC分类号：G01R1/067
申请日期：
2019-06-12
申请人：
上海思立微电子科技有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	检查单元以及检查系统
申请号	CN201920878815.8	申请日期	2019-06-12
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R1/067 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R1/00 包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R 31/00组中的各类仪器或装置的零部件（测量电消耗量的机电装置所特有的结构零部件入G01R 11/02）〔3，8〕 G01R1/02 一般结构零部件 G01R1/06 测量引线；测量探针（G01R 19/145，G01R 19/165优先）〔3〕 G01R1/067 测量探针〔3〕	IPC分类号	G;0;1;R;1;/;0;6;7查看分类表>
申请人	上海思立微电子科技有限公司	申请人地址	上海市浦东新区盛夏路560号2幢1003室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海思立微电子科技有限公司	当前权利人	上海思立微电子科技有限公司
发明人	库知文
代理机构	北京三友知识产权代理有限公司	代理人	陈伟;李辉

摘要

本实用新型提供了一种检查单元以及检查系统，该检查单元包括：连接体，所述连接体上设置有开孔；且所述连接体用于与自动测试设备相连，其中，所述自动测试设备用于对晶圆进行检测；光源，所述光源设置于所述开孔内；探针卡；所述探针卡与所述连接体相连，所述探针卡上设置有用于供光线穿过的透射部；探针台，所述探针台上设置有用于容置晶圆的容置部，所述容置部在所述光线的传播方向上位于所述透射部的下游；配线板，所述配线板与所述弹簧针座相对设置，所述配线板背对所述弹簧针座的一侧用于与所述自动测试设备相连。本实用新型提供了一种能对需要使用光源的晶圆进行测试的检查单元以及检查系统。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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该专利没有被任何外部专利所引用！

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