一种超高灵敏度声表面波湿度传感器

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专利名称	一种超高灵敏度声表面波湿度传感器
申请号	CN202110766441.2	申请日期	2021-07-07
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2021-08-06	公开/公告号	CN113219050A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N29/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N29/00 利用超声波、声波或次声波来测试或分析材料；靠发射超声波或声波通过物体得到物体内部的显像（G01N 3/00至G01N 27/00优先）〔4〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;9;/;0;0;;;B;8;2;Y;3;0;/;0;0;;;B;8;2;Y;4;0;/;0;0查看分类表>
申请人	湖南大学	申请人地址	湖南省长沙市岳麓区麓山南路1号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	湖南大学	当前权利人	湖南大学
发明人	周剑;吴建辉;段辉高;刘侃;季张斌
代理机构	长沙明新专利代理事务所（普通合伙）	代理人	叶舟

摘要

本发明提供了一种超高灵敏度声表面波湿度传感器，从下至上依次为：压电衬底、叉指电极以及氧化石墨烯‑ZnO纳米线‑石墨烯量子点复合结构敏感层。本发明的有益效果如下：高灵敏、易于检测以及工艺简单，在相对湿度区间为45%‑50%之间达到了148.61 kHz/%RH的超高灵敏度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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