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激光微加工及其方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200410094720.5
  • IPC分类号:B23K26/00
  • 申请日期:
    2004-11-12
  • 申请人:
    惠普开发有限公司
著录项信息
专利名称激光微加工及其方法
申请号CN200410094720.5申请日期2004-11-12
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2005-05-18公开/公告号CN1616178
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B23K26/00IPC分类号B;2;3;K;2;6;/;0;0查看分类表>
申请人惠普开发有限公司申请人地址
美国德克萨斯州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人惠普开发有限公司当前权利人惠普开发有限公司
发明人C·奥蒂斯;M·哈瓦里;J·R·波拉;M·C·哈思
代理机构中国专利代理(香港)有限公司代理人周备麟
摘要
所述的实施例涉及激光微加工一块基板的方法。一种通常的方法包括将激光(410)对准基板(300)而在该基板(300)上至少部分地形成一细部(404)。该加工方法还包括在上述形成细部的至少部分过程内沿第一供液通道(b1)向上述细部(404)的至少一个第一区(508a)供给液体(422),并沿至少一条第二供液通道(b2)向上述细部(404)的至少一个不同的第二区(508b)供给液体(422)。

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