TFT-LCD阵列基板、多层图形尺寸检测方法和设备

发明专利有效专利

申请号：
CN200910244615.8
IPC分类号：G02F1/1362;G02F1/13
申请日期：
2009-12-31
申请人：
北京京东方光电科技有限公司

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著录项信息

专利名称	TFT-LCD阵列基板、多层图形尺寸检测方法和设备
申请号	CN200910244615.8	申请日期	2009-12-31
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2011-07-06	公开/公告号	CN102116978A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02F1/1362 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02F 用于控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如转换、选通、调制或解调，上述器件或装置的光学操作是通过改变器件或装置的介质的光学性质来修改的；用于上述操作的技术或工艺；变频；非线性光学；光学逻辑元件；光学模拟/数字转换器〔2，4〕 G02F1/00 控制来自独立光源的光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如，转换、选通或调制；非线性光学〔2，4〕 G02F1/01 对强度、相位、偏振或颜色的控制（G02F 1/29、G02F 1/35优先）〔2，7〕 G02F1/13 基于液晶的，例如单位液晶显示单元〔2〕 G02F1/133 构造上的设备；液晶单元的工作；电路装置（用于控制矩阵中液晶元件并且在结构上不与这些元件相连的装置或电路入G09G 3/36）〔3，7〕 G02F1/136 结构上与一半导体层或基片相结合的液晶单元，例如形成集成电路部分的液晶单元（G02F 1/135优先）〔5〕 G02F1/1362 有源矩阵寻址单元〔7〕	IPC分类号	G;0;2;F;1;/;1;3;6;2;;;G;0;2;F;1;/;1;3查看分类表>
申请人	北京京东方光电科技有限公司	申请人地址	北京市朝阳区酒仙桥路10号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	京东方科技集团股份有限公司,北京京东方光电科技有限公司	当前权利人	京东方科技集团股份有限公司,北京京东方光电科技有限公司
发明人	郭建;周伟峰;明星
代理机构	北京中博世达专利商标代理有限公司	代理人	申健

摘要

本发明公开了一种TFT-LCD阵列基板、多层图形尺寸检测方法和设备，涉及液晶显示装置制造领域，能够提供更为快速和准确的测试结果，提高测试的效率和精确度。一种TFT-LCD阵列基板，包括：基板以及形成在所述基板上的多层阵列图形，在所述基板上未设置所述多层阵列图形的区域设置有用于分别检测所述多层阵列图形中各阵列图形的尺寸大小的检测标记，所述检测标记包括：与被检测图形同层设置且尺寸相同的检测图案，以及与所述检测图案非同层设置的检测衬底。本发明应用于TFT-LCD阵列基板的制备。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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