螺芴衍生物分子玻璃及其制备方法和光刻中的应用

发明专利有效专利

申请号：
CN201380000139.X
IPC分类号：C07C69/96;C07C69/712;C07C43/205;C07C43/23;C07C39/23
申请日期：
2013-01-22
申请人：
中国科学院理化技术研究所

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	螺芴衍生物分子玻璃及其制备方法和光刻中的应用
申请号	CN201380000139.X	申请日期	2013-01-22
法律状态	暂无	申报国家	暂无
公开/公告日	2014-11-12	公开/公告号	CN104144908A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C07C69/96 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C07 有机化学〔2〕 C07C 无环或碳环化合物（高分子化合物入C08；有机化合物的电解或电泳生产入C25B 3/00，C25B 7/00） C07C69/00 羧酸酯；碳酸酯或卤甲酸酯 C07C69/96 碳酸酯或卤甲酸酯〔2〕	IPC分类号	C;0;7;C;6;9;/;9;6;;;C;0;7;C;6;9;/;7;1;2;;;C;0;7;C;4;3;/;2;0;5;;;C;0;7;C;4;3;/;2;3;;;C;0;7;C;3;9;/;2;3查看分类表>
申请人	中国科学院理化技术研究所	申请人地址	北京市怀柔区雁栖经济开发区雁栖大街53号院13号楼二层203-11室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	国科天骥（北京）新材料技术有限责任公司	当前权利人	国科天骥（北京）新材料技术有限责任公司
发明人	李嫕;郝青山;陈金平;曾毅;于天君
代理机构	北京正理专利代理有限公司	代理人	张文祎

摘要

本发明公开了螺芴衍生物分子玻璃，具有如下分子结构：式中：R1～R12为氢原子、羟基、甲氧基或酸敏感性取代基；取代基R1～R12可相同或不同，但同一苯环上取代基不能均为氢原子；该分子玻璃在各种极性溶剂中都具有很好的溶解性，适于制成薄膜，同时，其具有很高的玻璃化温度，适合光刻加工工艺的要求；本发明还公开了上述螺芴衍生物分子玻璃的制备方法，合成过程简单，适合工业化；本发明同时公开了以上所述分子玻璃为主体材料的光刻胶在光刻中的应用，其中外围为羟基(或部分羟基)的螺芴衍生物分子玻璃可作为负性光刻胶使用，外围羟基通过酸敏感性取代基保护(或部分保护)的分子玻璃可作为正性光刻胶使用。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供