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电极引入机构

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200810087106.4
  • IPC分类号:H01L31/18
  • 申请日期:
    2008-03-19
  • 申请人:
    东捷科技股份有限公司
著录项信息
专利名称电极引入机构
申请号CN200810087106.4申请日期2008-03-19
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2009-09-23公开/公告号CN101540347
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L31/18IPC分类号H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人东捷科技股份有限公司申请人地址
台湾省台南县 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东捷科技股份有限公司当前权利人东捷科技股份有限公司
发明人黄明鸿;叶公旭;杨正安;何建立
代理机构中科专利商标代理有限责任公司代理人汤保平
摘要
一种电极引入机构,是装设于一真空腔设备,该电极引入机构包含有:二导杆,设于该真空腔设备且相互平行;一支架,具有对应该二导杆数量的贯孔,所述贯孔分别供该二导杆穿设;一电极装置,设于该支架且具有一电极部;一驱动装置,是具有一本体以及一设于该本体的驱动杆;该本体设于该真空腔设备;该驱动杆受该本体驱动且末段设于该支架;该支架受该驱动杆带动而沿该二导杆轴向位移,该电极部受该支架带动而往该真空腔设备内部位移。

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