一种制备微型燃料电池金属流场板的制作工艺

发明专利无效专利

申请号：
CN200710158789.3
IPC分类号：H01M8/02;H01M4/88
申请日期：
2007-12-04
申请人：
大连理工大学

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著录项信息

专利名称	一种制备微型燃料电池金属流场板的制作工艺
申请号	CN200710158789.3	申请日期	2007-12-04
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2008-07-16	公开/公告号	CN101222057
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01M8/02 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01M 用于直接转变化学能为电能的方法或装置，例如电池组〔2〕（一般电化学的方法或装置入C25；用于转变光或热为电能的半导体或其他固态器件入H01L，例如H01L 31/00，H01L 35/00，H01L 37/00）〔2〕 H01M8/00 燃料电池；及其制造〔2〕 H01M8/02 零部件（电极入H01M 4/86-H01M 4/98）〔2，2016.01〕	IPC分类号	H;0;1;M;8;/;0;2;;;H;0;1;M;4;/;8;8查看分类表>
申请人	大连理工大学	申请人地址	辽宁省大连市甘井子区凌工路2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	大连理工大学	当前权利人	大连理工大学
发明人	刘冲;孙灵俊;梁军生;施维枝;王立鼎
代理机构	大连理工大学专利中心	代理人	关慧贞

摘要

本发明一种制备微型燃料电池金属流场板的制作工艺属于对微型燃料电池技术的研究，尤其涉及一种微型燃料电池金属流场板的制作方法。其制作工艺是在金属片表面通过光刻技术制作掩蔽层，通过化学蚀刻或者电化学蚀刻的方法加工出微细结构，以及在金属表面制作导电耐蚀层。所用材料为金属板，包括不锈钢、钛及其合金、铝合金、或铜及其合金。能加工微孔、微沟道、微突起结构，通过多次的光刻、蚀刻工艺，制作三维微细结构的金属流场板。采用此工艺制作的流场板具有电阻小、耐蚀、耐磨、无加工变质层、无切削残余应力、一致性好。微结构的最小线宽可以达到50μm，结合大尺幅光刻蚀刻技术，可以实现低成本，大批量生产。

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