统括管理装置

发明专利无效专利

申请号：
CN02818472.6
IPC分类号：G05B19/418;G06Q10/00;H01L21/02
申请日期：
2002-09-20
申请人：
奥林巴斯株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	统括管理装置
申请号	CN02818472.6	申请日期	2002-09-20
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2004-12-22	公开/公告号	CN1556941
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G05B19/418 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G05 控制；调节 G05B 一般的控制或调节系统；这种系统的功能单元；用于这种系统或单元的监视或测试装置（应用流体作用的一般流体压力执行器或系统入F15B；阀门本身入F16K；仅按机械特征区分的入G05G；传感元件见相应小类，例如G12B，G01、H01的小类；校正单元见相应的小类，例如H02K） G05B19/00 程序控制系统（特殊应用见有关位置，例如A47L 15/46；附带或内装有在预定时间间隔操作任一器件的装置的时钟入G04C 23/00；记录或读取数字信息的记录载体入G06K；信息存储器入G11；在程序执行完了后自动终止其运行的时间或时间程序开关入H01H 43/00） G05B19/02 电的 G05B19/418 全面工厂控制，即集中控制许多机器，例如直接或分布数字控制（DNC）、柔性制造系统（FMS）、集成制造系统（IMS）、计算机集成制造（CIM）〔6〕	IPC分类号	G;0;5;B;1;9;/;4;1;8;;;G;0;6;Q;1;0;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;0;2查看分类表>
申请人	奥林巴斯株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	奥林巴斯株式会社	当前权利人	奥林巴斯株式会社
发明人	大西孝明;小室考广
代理机构	永新专利商标代理有限公司	代理人	胡建新

摘要

本发明的统括管理装置，其特征在于具有：多台检测、制造装置，它们布置在半导体器件的制造生产线上；用于检测、制造装置的计算机，它单独或者分组连接在上述各检测、制造装置上；用于管理的计算机，它通过通信线路而连接在上述各用于检测、制造装置的计算机上，其功能是与上述用于检测、制造装置的计算机之间对工作条件的各种信息或维修信息进行接收发送并统括管理；监视装置，它连接在该用于管理的计算机上；以及管理部，其功能是利用上述用于管理的计算机，对各用于检测、制造装置的计算机统括更改各检测、制造装置的工作条件；或者，对维修信息进行监视，当检测出异常时发出催促维修的报警。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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